527052 产品规格书
527052 产品规格书
产品信息
二维扫描台 台面宽度100mm 行程20mm 滚珠丝杆+直线导轨
产品编号：527052
产品描述
联合光科的XY位移平台应用于稳定性、精度和动态性要求极高的科研和工业领域。使用高负载XY位移平台和平面扫描仪，您可以高效率实现高精操作。二维位移台实现了快速、重复精度高的扫描与最佳速度稳定性的完美结合。
规格参数
- 行程 20mm(XY)
- 负载 2kg
- 分辨率 0.625μm
- 最小步进量 1μm
- 单向重复定位精度/保证值 ±2μm
- 单向重复定位精度/典型值 ±1μm
- 双向重复定位精度/保证值 ±4μm
- 双向重复定位精度/典型值 ±2μm
- 定位精度/保证值 ±20μm
- 定位精度/典型值 ±10μm
- 最大速度 5mm/s
- 直线度 20μm
- 平整度 20μm
- 偏摆 35″
- 俯仰 35″
- 重量 2kg
- 适配控制器 528251/528252/528255/528256/528257/528264
光学元件表面清洁方法
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