526957 产品规格书
526957 产品规格书
产品信息
压电纳米升降台 行程=±12.5mm
产品编号：526957
产品描述
*锲型结构设计，单/双压电马达驱动 *断电自锁，内具刹车功能，无回程间隙 *最小步进距离小于20nm *可选配磁栅或光栅位置反馈 *结构紧凑，可以和其他位移台直接叠堆成模组
规格参数
- 行程 ±12.5mm
- 马达 压电马达
- 最大固定负载 1kg
- 最大速度 20mm/sec
- 最小步进 50nm
- 重复定位精度 +/-200nm
- 位置传感器 进口光栅
- 主体材料 铝合金
- 几何尺寸（宽×深×高） 80×80×122.5mm
- 重量 1kg
尺寸图
关于产品
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