750010 产品规格书
750010 产品规格书
产品信息
光学元件表面检测
产品编号：750010
产品描述
ARGOS根据ISO 10110-7 标准进行质量检测，能显著减轻质检员费时、费力进行表面缺陷检验的工作 质检员可通过测试结果，给出生产线上的纠正错误，提高测试样品质量。
产品特点
产品特点
- 快速检验整个表面
- 提高产出和品质
- 完全符合ISO 10110-7文件标准
| 选项 | 测试和验证 | 缺陷类型 | 便于使用 |
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| 典型缺陷 |
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| (从左到右) 麻点 / 长划痕 / 密集缺陷 / 崩边 |
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| 玻璃上由聚焦离子束导致的缺陷参考 |
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| 校准 |
规格参数
精度
| 最小ISO规格 | 5/ 1x0.016; C1x0.04; L1x0.01; E 0.04 | 评估为指定麻点尺寸的16%和指定划痕尺寸的25%。 |
| 重复性 | >98% for 5/1×0.16 | 指定同等级 |
| >95% for 5/1×0.04 | ||
| 可见度 | <1μm | 由于光学分辨率的重复性，小于2.5μm的可见缺陷被评定为等级0.0025。 |
| 精度 | <1μm | 相同参考样品30次重复插入的标准偏差 |
| 真实性 | < 2 µm (dig) | 检验结果接近真实值 |
| < 1 µm (scratch) |