780100 产品规格书
					
				
				 
								780100 产品规格书
							产品信息
									
									
									
												二维扫描平台												
											
											产品编号:780100
											
										
										产品描述
											
												
													
													
												 
 
											
											
												
												
												
											
											
																			
								二维扫描平台主要由铝合金支架、电机XI、电机Y1、电机 Z1、电机X2、电机Y2、电机Z2、电机控制器、样品支架、 探头1、探头2组成,可以进行太赫兹透射谱、反射谱、反射 成像、透射成像的测量。
其中,样品支架用于放置待测样 品,电机XI、电机Y1用于控制探头1进行X、Y两个方向的平 移,电机X2、电机Y2用于控制探头2进行X、Y两个方向的平移,电机Z1、电机Z2分别可对探头1、探头2进行调焦,从而 适应不同的样品厚度。
												其中,样品支架用于放置待测样 品,电机XI、电机Y1用于控制探头1进行X、Y两个方向的平 移,电机X2、电机Y2用于控制探头2进行X、Y两个方向的平移,电机Z1、电机Z2分别可对探头1、探头2进行调焦,从而 适应不同的样品厚度。
 
 规格参数
										| X / Y行程 | 500*500mm | 
| Z向调焦距离 | ±20mm | 
| XY闭环分辨率 | 5um | 
| XY定位精度 | < 3 um | 
| 静态平行度 | 0.1 m | 
| 运动直线度 | 10 um | 
| 运动平行度 | 15 um | 
| 偏摆误差 | 30" | 
| 俯仰误差 | 30" | 
| 最大运动速度 | 100mm/s | 
| 应用范围 | 二维扫描式成像/大面积样品多点探测 |