直线位移台 台面宽度80mm 行程100mm 真空专用 滚珠丝杆+直线导轨
价格 ¥30,000.00
产品型号 526663
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- 行程 100mm
- 负载 10kg
- 分辨率 0.625μm
- 最小运动增量 1μm
- 单向重复定位精度(保证值) ±1μm
- 单向重复定位精度(典型值) ±0.5μm
- 双向重复定位精度(保证值) ±2.5μm
- 双向重复定位精度(典型值) ±1μm
- 准确度(保证值) ±12μm
- 准确度(典型值) ±6μm
- 最大速度 10mm/s
- 使用场景 真空专用
- 直线度 12μm
- 平整度 12μm
- Yaw-偏摆 25″
- Pitch-俯仰 25″
- 持续推力 /
- 峰值推力 /
- 重量 4.4kg
- 适配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264
产品特点
(1) 行程覆盖:50mm、100mm与150mm。
(2) 坚固的台身设计可确保以150mm×150mm的最大行程进行可靠的XY轴组装。