OHARA高质量石英玻璃 最大尺寸Φ600 xt100mm
SK-1300纯度极高,OH含量低得多,是第一种可用于半导体和液晶显示行业的合成熔融石英
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产品型号 SK-1320L
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- 最大尺寸(mm) Φ600 xt100
- 条纹 Class 1 Grade"A"
- 均匀性 NS
- 双折射(nm/cm²) ≤5
- 气泡杂质(mm²/100cm³) 0 ~ 0.03
- 荧光 无
- 最佳透过范围(nm)(>80%) 170~2500
SK-1300系列在光学特性方面是最先进的技术,因为它提供了很高的分辨率紫外线透射,无微夹杂,耐日晒,此外还具有耐热性、机械强度和耐化学性。 这些产品可用于半导体、光学和所有物理或化学相关研究的各种工业应用。
可用于: 各种器件的晶片,如TFT(多晶硅薄膜晶体管LCD)、SOI(绝缘硅)等;超大规模集成电路和液晶显示器用光掩模基板;ULSI制造工艺用反应器炉管、夹具和工具;放电管;用于紫外和真紫外的光学元件,透镜,反射镜,窗口。
产品特点
1. 超高纯度(总金属杂质小于0.5ppm);
2. OH含量可控制在1 ppm或以下;
3. 确保高耐热性;
4. 实现高传输(SK-1310在紫外线、可见光和红外的整个波长范围内都具有优异的特性);
5. 不含气泡或条纹;
6. 优异的抗激光性能