Lens Thick非接触式光学测厚仪12-1

利用低相干光干涉测量方法来精确测量厚度,具有很好的空间定位特性

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产品型号 12-1

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型号 12-1
厚度测量
方法 非接触式光学干涉仪
精度1,2 ±1 μm
重复性3,4 ±0.05 pm
最大量程(光程)5 12 mm
最小厚度6 35 μm
测量频率 20 Hz
单位 mm、μm
溯源 NIM认证标准
环境7
热机时间
温度 15°C 到 30°C (存储-10°C 到 +70°C)
压力 500 一 900 mm Hg
湿度 在+40°C时<90% R.H.(无冷凝)
主机尺寸和重量
尺寸 570mmx700mmx590mm (长x宽x高)
重量 60kg
支架尺寸和数量
尺寸 330mmx430mmx685mm (长x宽x高)
重量 20kg
其他
功率 90-264 VAC, 47-63 Hz, 80 VA最大
仪器接口 USB2.0及以上接口最多可支持8通道测量
电脑配置 Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标
保质期 1年

(1)定义为测量不确定度或最大厚度误差,置信度≥99.7%。
(2)整个运行环境条件的不确定性。
(3)60分钟测量周期的标准偏差。
(4)取决于被测材料在1.3um波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15um。
(5)折射率为1时。
(6)折射率为1.5的材料。
(7)特性性能,但不是一定的。
LensThick光学测厚仪的操作简单,每次可轻松获得可靠的厚度值。测量数据经过数字信号处理器计算,通过USB传输到PC,再以图形的形式显示在用户界面,可直接读取每层厚度值,操作更简单、更直观。
典型应用 
  • 光学元件和透镜组件:测量单个镜片以及镜头组包括空气间隔
  • 医用导管窥镜:可同时测量管壁厚、内径和外径 
  • 隐形眼镜和人工晶状体:测量中心厚度、矢高和群折射率
  • 隐形眼镜和人工晶状体:测量中心厚度、矢高和群折射率
  • LCD、LED、OLED和AMOLED显示屏:测量总厚度和各层厚度,包括LOCA(液体光学透明粘合剂)层
  • 抛光玻璃:测量化学腐蚀前后的厚度或抛光工艺,使玻璃板更薄、更轻
  • 半导体:硅/砷化镓晶片
主要优势
  • 非接触式测量,不会造成元件表面损坏或变形。
  • 最多可同时测量31层厚度。
  • 用于精确定位测量位置的可见光束。
  • 最高精度±0.1微米。
  • 基于内部固有长度标 准,实时显示测量数据。
  • 测量重复性达±0.02微米。
  • 测量结果可追溯至NIST标准。
  • 集成装置,操作简便。
  • 测量最小物理厚度可达16微米(折射率1.5时)。
 
 
测量过程
  • 将光学测量头对准被测产品。
  • 激光通过光学测量头照射到材料表面。
  • 光学测量头收集反射光并将其返回到系统的干涉仪进行分析。
  • 测量数据通过USB传输到电脑。
  • LensThick软件用于显示测量结果、设置参数及输出数据报告。

测量软件
光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号,以便实时优化。
自动峰值模式:使用操作员创建的样品设计文件,可以定义最多32个反射面(31层)的预期峰值位置,软件可自动识别在指定的阈度内最接近预期峰值位置的峰值,从而计算并输出每层的厚度。
此外,软件还带有判据功能,即超出设计值的公差范围,数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。
 
软件界面 测量原理图

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