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气浮型一体式主动减振器 尺寸1100x900x221mm
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技术参数 相关产品 详情描述
支撑形式 气囊
尺寸 1100x900x221mm
负载能力 1~1600kg
减振性能 50%~80@1Hz,90%@2Hz,99%@10Hz
调平方式 机械调平
减振范围 1~1000Hz
控制自由度 3轴6自由度
执行器 音圈电机
最大推力 0.25μm
稳定时间 0.3s
电源 AC220V/50Hz
重量 350kg
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一体式主动减振器集成控制器、显示屏，体积小巧、外观简洁、使用方便。主动减振器主要应用于一些对微振敏感的高端检测设备，针对于AFM和SEM而开发的高端主动减振器。高端仪器在进行高倍率的图像处理和精密设备需要达到纳米级精度时，都需要对微振进行一个有效的抑制，6自由度主动减振就是一个很好的选择，并能根据不同环境和工况的需求，提供有效的解决方案。
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