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一体式主动减振器
一体式主动减振器集成控制器、显示屏，体积小巧、外观简洁、使用方便。主动减振器主要应用于一些对微振敏感的高端检测设备，针对于AFM和SEM而开发的高端主动减振器。高端仪器在进行高倍率的图像处理和精密设备需要达到纳米级精度时，都需要对微振进行一个有效的抑制，6自由度主动减振就是一个很好的选择，并能根据不同环境和工况的需求，提供有效的解决方案。
产品特点：
* 有弹簧型、气浮型两种支撑
*弹簧型主要应用于显微镜、光学设备、检测设备等
*气浮型扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备
*轻巧便捷，安装方便，音圈电机执行器输出反馈减振
*手动/自动调节水平，操作简便
* 6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅
*实时监控台面振动
产品特点：
* 有弹簧型、气浮型两种支撑
*弹簧型主要应用于显微镜、光学设备、检测设备等
*气浮型扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备
*轻巧便捷，安装方便，音圈电机执行器输出反馈减振
*手动/自动调节水平，操作简便
* 6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅
*实时监控台面振动
负载能力
