电光Q开关.jpg)
模块式主动减振器
模块式设计，能适用于更多需要安装配置的场合，外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型，弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备，消减大质量滑块运动带来的振动；半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。
产品特点：
*安装方便，接入电源即可使用
*调节水平功能，操作简便
*模块化的主动减振器，可根据设备重量和尺寸，制作成各种平台
*6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅
*实时监控台面振动
产品特点：
*安装方便，接入电源即可使用
*调节水平功能，操作简便
*模块化的主动减振器，可根据设备重量和尺寸，制作成各种平台
*6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅
*实时监控台面振动
单个负载能力
减振性能
