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新品 气浮型模块式主动减振器 模块尺寸369×388×188mm
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产品型号 516454
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- 模块尺寸 369×388×188mm
- 单个负载能力 700-1200kg
- 减振性能 —
- 传递率 ≤0db@2Hz,≤-0db@10Hz,≤-10db@20Hz
- 隔振范围 —
- 减振器共振频率 垂向：10-14Hz,水平：4-6Hz
- 调平方式 压力伺服阀+位移传感器
- 控制自由度 3轴6自由度
- 执行器 音圈电机
- 最大推力 —
- 稳定时间 —
- 电源 AC220V/50Hz
- 安装方式 推荐等边三角形、矩形布置
- 减振器工作气压 0.15-0.5MPa
- 机械硬限位 水平浮动±1.5mm,垂直浮动±0.6mm
- 重量 75kg
模块式设计，能适用于更多需要安装配置的场合，外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型，弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备，消减大质量滑块运动带来的振动；半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。
