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| 产品编号 | 750180 |
| 测量范围 | 最大600mm |
| 起始工作距离 | ＞550mm(可定制) |
| 单次测量时间 | ＜40s(全行程600mm） |
| 测试系统工作条件 | 温度：22°±0.1° ；湿度：30%~60%RH；洁净度：千级 |
| 测量精度 | ±0.2μm |
| 重复性 | 1σ＜0.1μm |
| 镜面定位仪主机尺寸 | 1m×0.22m×0.2m |
| 电控箱尺寸 | 0.35m×0.35m×0.15m |
| 镜面定位仪主机重量 | 30kg |
| 电控箱重量 | 5kg |
镜面定位仪，是我司针对高精度光学元件装配与定位需求，自主研发的一款高精度测长装备。采用短相干干涉检测技术，可实现镜面间隔或元件中心厚的高精度非接触式测量。
在光学系统装校过程中，元件中心厚度及空气间隔的控制精度直接影响系统的成像质量。传统接触式测量方法操作繁琐、测试精度低且容易对镜面造成污染及损伤。该设备从原理上解决了上述痛点，以非接触方式实现高精度测量，既保障了镜面安全，又提升了测量效率与数据可靠性，为高质量光学系统的生产与装调提供了关键保障。
我司自主研发的镜面定位仪采用迈克尔逊干涉仪结构，通过短相干光源发射短相干激光，经耦合器分束成两束光，这两束光分别通过准直器聚焦到测量臂和参考臂上。在测量臂端，光束经待测物各表面反射产生反射光;在参考臂端，光束被可扫描的参考镜反射。各反射光束经光纤返回到耦合器中，扫描反射镜反射的光束分别与测量臂中的样品反射光发生干涉，干涉信号再由探测器探测，通过数据分析处理得到各反射面之间的相对位置与间隔距离。
产品特点：
高精度与高重复性检测：采用短相干干涉结构，结合精确的数值分析方法，能够实现±0.2μm的高精度间隔测量，测量重复性＜0.1μm。
全流程的测量分析：提供包括参数设置、阈值设置、测量范围与次数设置、测量、数据分析以及结果导出等全流程的、功能完善的操作软件。
高效灵活的快速测量：可在40s内完成最大600mm全量程范围的扫描，一次性测量光学系统中所有表面的距离；并且可以根据待测物位置与尺寸将测量范围在100-600mm范围自由调整，减少检测时间，实现高效测量。
支持便捷集成到其他设备中使用：整体测试光路采用光纤结构，测头尺寸小，可通过调整架安装集成在定心仪、测试台等其他设备中使用。
非接触式测量：相较于破坏或拆卸镜头的传统接触式测厚方式，采用相干光干涉技术，可实现无损、无污染的非接触式测量。
产品应用：
元件中心厚的高精度检测，用于指导光学加工
镜组中各镜面间隔检测，用于指导集成装配
独立的光学器件之间的相对位置检测，用于指导设备装调
在光学系统装校过程中，元件中心厚度及空气间隔的控制精度直接影响系统的成像质量。传统接触式测量方法操作繁琐、测试精度低且容易对镜面造成污染及损伤。该设备从原理上解决了上述痛点，以非接触方式实现高精度测量，既保障了镜面安全，又提升了测量效率与数据可靠性，为高质量光学系统的生产与装调提供了关键保障。
我司自主研发的镜面定位仪采用迈克尔逊干涉仪结构，通过短相干光源发射短相干激光，经耦合器分束成两束光，这两束光分别通过准直器聚焦到测量臂和参考臂上。在测量臂端，光束经待测物各表面反射产生反射光;在参考臂端，光束被可扫描的参考镜反射。各反射光束经光纤返回到耦合器中，扫描反射镜反射的光束分别与测量臂中的样品反射光发生干涉，干涉信号再由探测器探测，通过数据分析处理得到各反射面之间的相对位置与间隔距离。
产品特点：
高精度与高重复性检测：采用短相干干涉结构，结合精确的数值分析方法，能够实现±0.2μm的高精度间隔测量，测量重复性＜0.1μm。
全流程的测量分析：提供包括参数设置、阈值设置、测量范围与次数设置、测量、数据分析以及结果导出等全流程的、功能完善的操作软件。
高效灵活的快速测量：可在40s内完成最大600mm全量程范围的扫描，一次性测量光学系统中所有表面的距离；并且可以根据待测物位置与尺寸将测量范围在100-600mm范围自由调整，减少检测时间，实现高效测量。
支持便捷集成到其他设备中使用：整体测试光路采用光纤结构，测头尺寸小，可通过调整架安装集成在定心仪、测试台等其他设备中使用。
非接触式测量：相较于破坏或拆卸镜头的传统接触式测厚方式，采用相干光干涉技术，可实现无损、无污染的非接触式测量。
产品应用：
元件中心厚的高精度检测，用于指导光学加工
镜组中各镜面间隔检测，用于指导集成装配
独立的光学器件之间的相对位置检测，用于指导设备装调
