WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪 | 联合光科
WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪
WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪
WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪
WaveMaster® PRO系列产品是为了适应波前质量的大批量检测的需求而研发的两款仪器,可自行设置合格标准,并根据该标准自动判定合格和不合格。WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 reflex配备托盘系统,实现对单个小镜片的大批量检测。WaveMaster® PRO Wafer则可以对晶圆级镜头的波前进行快速检测。

应用范围:

  • 生产线上的大批量镜头波前和表面面形的检测
  • 晶圆级镜头的波前检测
产品列表

WaveMaster®PRO 2 量产型波前测量仪

文件
产品编号
产品名称
货期
价格
购买
产品编号 750118 750119
产品型号 WaveMaster® PRO 2 WaveMaster® PRO 2 Wafer
应用范围 批量测量单个小镜片的波前质量 测量晶圆级镜片的波前质量
测量模式 透射式 透射式
空间分辨率 138×138 138×138
测量精度 <λ/20 (RMS) <λ/20 (RMS)
测量重复性 <λ/200 (RMS) <λ/200 (RMS)
动态范围 2000λ 2000λ
测量频率 12Hz 12Hz
测量时间 < 3秒/颗      < 3秒/颗 
样品口径  6mm…14mm   6mm…14mm 
样品焦距  -12mm…50mm  -12mm…50mm 
光学波长 532nm 532nm
样品夹持器 托盘式,自动定位
多孔位(最多100个)
托盘式,自动定位
晶体托盘(4”/6”/8”)
自动判定晶圆方向

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